住友精密工业技术(上海)有限公司
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全内置设计GRF系列

产品特点
1、可搭载于19英寸机架
2、内置流量以及压力控制器
3、连接浓度仪实现浓度的高稳定性(反馈控制)
4、高纯度臭氧气体(采用全陶瓷结构的放电单元)
5、高耐压,长寿命的高可靠性放电单元
6、快速启动以及精准的浓度响应性能

性能表

规格

臭氧浓度

210g/m3(N)

臭氧流量

1L/min 14L/min

外形尺寸

W483mm×H266mm×D454mm

冷却水温度

20℃±2℃

冷却水流量

1 10L/min

电源

AC200V 3