住友精密工业技术(上海)有限公司
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产品特点
1、不添加氮气实现高浓度400G/M3(N)臭氧生成
2、可搭载于19英寸机架
3、小流量到大流量的丰富选型
4、高耐压,长寿命的高可靠性放电单元
5、快速启动以及精准的浓度响应性能
6、连接浓度仪实现浓度的高稳定性(反馈控制)
7、CE·NRTL认证,适用SEMI标准
8、气体管道材料可选:316LSS OR PFE

性能表

规格

臭氧流量

1L/min 24L/min210g/m3(N)时〕

臭氧供给压力

max.0.15MPa

冷却水温度

20℃±2℃

外形尺寸

W483mm×D453mm×H266mm

重量

3045kg电源 AC200V 3

电源

AC200V 3